Lam Research Corp 価格

ラム・リサーチ・コーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体プロセス装置の設計、製造、マーケティング、リファービッシュ（再整備）、およびサービスを行っています。同社は、タングステン・メタライゼーション用途向けにコンフォーマル・フィルムを成膜するALTUSシステムを提供しています。また、銅インタコネクトのトランジションに対応し、銅ダマシンの製造を可能にする電気化学的堆積製品としてSABREを提供しています。さらに、フィルム処理用の紫外線熱処理製品としてSOLA、プラズマ強化CVD ALD製品としてVECTORを提供しています。加えて、高密度プラズマの化学気相成長（CVD）製品としてSPEED gapfillを提供しており、誘電体フィルムのソリューション向けには、単一ウェーハ型の原子層堆積製品であるStrikerを提供しています。加えて、誘電体エッチング用途向けのFlex、導体エッチング用途向けのKiyo、貫通シリコン・ビア（TSV）エッチング用途向けのSyndion、金属エッチングプロセス向けのVersys金属製品も提供しています。さらに、ダイの歩留まり向上のためのCoronusベベル・クリーン製品、各種ウェーハ洗浄用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量計測のためのMetryxマス・メトロロジー（mass metrology）システムも提供しています。同社は、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、ならびに世界各国の半導体業界に製品とサービスを販売しています。ラム・リサーチ・コーポレーションは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。