ASML presenta la primera máquina de proyección de gran campo para empaquetado avanzado

GateNews

2025-11-07 12:52:22

Datos de Jin10, 7 de noviembre: en la 8ª Exposición Internacional de Importaciones, el proveedor de equipos de semiconductores ASML mostró algunos de sus productos y tecnologías de litografía de visión completa. Entre ellos, la máquina de litografía DUV incluye TWINSCAN XT:260 y TWINSCAN NXT:870B. La TWINSCAN XT:260, una máquina de litografía de línea i, es el primer sistema de litografía de ASML que puede servir en el campo del empaquetado avanzado, con exposición de gran campo de visión, lo que permite una eficiencia de producción cuatro veces mayor en comparación con los modelos existentes; la TWINSCAN NXT:870B, con componentes ópticos mejorados y la última generación de plataformas de levitación magnética, puede alcanzar una producción de más de 400 obleas por hora (wph).

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